De gaskwaliteit kan worden aangegeven met een zuiverheidspercentage, een hoeveelheid verontreiniging in ppm (parts per million) of een kwaliteitsgetal. Zo komt een kwaliteitsgetal van bijvoorbeeld 4,5 overeen met een zuiverheid van 99,995 % en een verontreiniging van 5 ppm (parts per million) of minder. In het kwaliteitsgetal geeft het cijfer voor de komma het aantal negens aan in het zuiverheidspercentage. Het cijfer na de komma geeft het cijfer dat volgt op de laatste negen in het zuiverheidspercentage.
Verontreinigingen
Wanneer zich waterdamp in het lasergas bevindt, zal het bij de laserwerking dissociëren waardoor er negatief geladen waterstof ionen ontstaan die de ontlading in de resonator instabiel kunnen maken.
Koolwaterstoffen (CxHy) die zich in het lasergas bevinden, zullen tengevolge van de elektrische ontlading ontbinden. Dit heeft tot gevolg dat zich koolstof- en polymeerafzettingen zullen vormen op de spiegel, die een deel van het laservermogen zullen absorberen. Hierdoor vermindert het laservermogen dat de laser kan leveren en zal de temperatuur van de spiegels oplopen wat nadelig is voor de levensduur ervan.
Wanneer zich lucht in het lasergas bevindt, dan kan dit tot gevolg hebben dat er stikstofoxides ontstaan die de ontlading kunnen destabiliseren of zelfs helemaal kunnen stoppen. Andere gassen die zich in lucht bevinden of eruit kunnen ontstaan (zoals koolmonoxide of argon) hebben een verwaarloosbare invloed op de laserwerking zolang de verontreiniging kleiner blijft dan 1000 ppm (0,1%).