Tijdens het sublimatiesnijden gaat het materiaal in de snede van de vaste fase direct over in de dampfase, waarna het door de gasstraal uit de snede wordt gedreven. Meestal wordt argon (Ar) of stikstof (N2, zuiverheid 3.0 tot 5.0) gebruikt om oxidatie van de snede te voorkomen. Voor het sublimatiesnijden van metalen wordt meestal een gepulste Nd:YAG-laser toegepast (piekvermogens meer dan 2 kW, pulstijden minder dan 1 ms). De voordelen van sublimatiesnijden zijn een zeer goede snedekwaliteit (nauwelijks striations en dus een lage ruwheid) en een zeer kleine warmtebeïnvloede zone. Nadelen zijn de benodigde hoge energiedichtheid voor het snijden van metalen en lage snijsnelheid in vergelijking met het smeltsnijden. Daarom wordt sublimatiesnijden toegepast voor het snijden van niet-metalen, zo\als hout, papier, keramiek en kunststoffen. Daartoe worden voornamelijk CO2 lasers ingezet.